要解决的问题:提供一种用于制造太阳能电池的薄膜光吸收层的方法。
解决方案:用于制造光吸收层的方法包括以下步骤:在腔室的蒸发源中填充CIGS晶体粉末;同时蒸发CIGS晶体粉末;将蒸镀的CIGS晶体粉末沉积在基板上以形成CIGS薄膜。
版权:(C)2011,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2011109052A
专利类型
公开/公告日2011-06-02
原文格式PDF
申请/专利权人 KOREA ELECTRONICS TELECOMMUN;
申请/专利号JP20090288014
申请日2009-12-18
分类号H01L31/04;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:22:29