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机译:改进的检测技术在纳米计量学或微计量学规模的振动机电组件上的应用
公开/公告号AT499745T
专利类型
公开/公告日2011-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 COMMISSARIAT A LENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES;STMICROELECTRONICS SA;
申请/专利号AT20080805144T
发明设计人 CASSET FABRICE;DURAND CEDRIC;
申请日2008-10-08
分类号H03H9/02;H03H3/007;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 18:03:31
机译: 改进的检测技术在纳米计量学或微计量学规模的振动机电组件上的应用
机译: 具有增强的检测水平的振动纳米级或微米级机电组件
机译: 振动检测级增强的纳米级或微级机电部件