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机译:微系统,特别是带有电容电极的检测装置的微型陀螺仪
公开/公告号AT511629T
专利类型
公开/公告日2011-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 COMMISSARIAT A LENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES;
申请/专利号AT20070354045T
发明设计人 DIEM BERNARD;
申请日2007-08-07
分类号G01C19/02;G01C19/56;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 18:03:16
机译: 带有检测元件的微系统,特别是微陀螺仪,该检测元件具有电容电极
机译: 具有电容电极检测元件的微系统,尤其是微陀螺仪