机译:制备金属氮化物薄层的方法,尤其是利用醇化物的选择性分解,用于硬化表面的方法,用于获得薄的含氧化合物层,包含所述层的制品及其用途,以及用于获得金属氢化物和醛的方法/酮类
公开/公告号EP2290123A1
专利类型
公开/公告日2011-03-02
原文格式PDF
申请/专利号EP20090169114
申请日2009-09-01
分类号C23C16/30;C23C16/34;C23C16/56;C30B33;C30B33/12;C30B25/02;C30B25/18;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 17:55:18