公开/公告号KR20110119728A
专利类型
公开/公告日2011-11-02
原文格式PDF
申请/专利权人 AXCELIS TECHNOLOGIES INC.;
申请/专利号KR20117019496
发明设计人 EISNER EDWARD;POLNER DONALD;SMICK THEODORE;SAKASE TAKAO;EIDE PAUL;FREER BRIAN;LAMBERT MARK;HORNER RONALD;FARLEY MARVIN;RYDING GEOFFREY;BECKEL DONOVAN;
申请日2010-01-22
分类号H01J37/244;H01J37/317;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 17:50:49