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A method for the production of an integrated circuit with gate - self-protection of, and integrated circuit with gate - self-protection

机译:一种具有栅极自保护的集成电路的生产方法以及具有栅极自保护的集成电路

摘要

A method for the production of an integrated circuit with gate - self-protection of, in which the integrated circuit comprises a mos - component and a bipolar component, wherein said method comprises the steps of:– Depositing a dielectric layer (20, 120, 220) by means of a semiconductor layer (14, 114, 214), in the electrically active (16, 116, 216) and electrically inactive zones (18, 118, 218) are formed;– Depositing a gate - conductor layer (22, 122, 222) by means of the dielectric layer (20, 120, 220);– Defining a base zone (24) of the bipolar component and a selected region (30, 32, 130, 132, 230, 232) of the mos - device, wherein in the selected zone (30, 32, 130, 132, 230, 232) of the mos - component, the dielectric layer (20, 120, 220) by means of an electrically active zone (16, 116, 216) of the semiconductor layer (14, 114, 214) is;– Removal of the gate - conductor layer (22, 122, 222) in the base zone (24) of the bipolar component and in the selected zone (30, 32,..
机译:一种具有栅极自保护的集成电路的生产方法,其中,集成电路包括mos组件和双极组件,其中所述方法包括以下步骤:–沉积介电层(20、120, 220)通过半导体层(14、114、214)在电激活区(16、116、216)和电非激活区(18、118、218)中形成;-沉积栅极-导体层(22 ,122、222);-定义双极组件的基极区(24)以及双极组件的选定区域(30、32、130、132、230、232) mos-装置,其中在mos-组件的选定区域(30、32、130、132、230、232)中,介电层(20、120、220)通过电活动区域(16,116,半导体层(14、114、214)的216);-去除双极组件的基极区(24)和选定区域(30、32)中的栅极-导体层(22、122、222) ,..

著录项

  • 公开/公告号DE102005044124B4

    专利类型

  • 公开/公告日2010-11-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号DE20051044124

  • 发明设计人

    申请日2005-09-15

  • 分类号H01L21/336;H01L23/62;H01L21/8248;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 17:48:06

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