机译:一种用于光诱导的电脉冲沉积的方法,用于形成用于太阳能电池的金属接触的种子层,并随后放大所述种子层或该金属接触,以及进行该工艺的装置
公开/公告号DE102009051688A1
专利类型
公开/公告日2011-04-28
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号DE20091051688
发明设计人
申请日2009-10-23
分类号H01L31/18;H01L21/283;C25D5/18;C25D7/00;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 17:47:38