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METHODS AND APPARATUS FOR REAL-TIME MONITORING OF CADMIUM ION DURING SOLUTION GROWTH OF CADMIUM SULFIDE THIN FILMS

机译:硫化镉薄膜溶液生长过程中实时监测镉离子的方法和装置

摘要

The present invention provides a reaction chamber to monitor a metal ion in solution during the formation of a metal-sulfide layer on a substrate. The reaction chamber houses a solution of an ammonium ion, a metal ion and a buffer. The reaction chamber includes an anion-selective electrode in the solution to monitor the metal ion that measures the metal ion during metal-ammonium complex formation, metal-thiourea complex formation, metal sulfide composition formation, metal sulfide layer formation or a combination thereof.
机译:本发明提供了一种反应室,以在基板上形成金属硫化物层期间监测溶液中的金属离子。反应室容纳铵离子,金属离子和缓冲液的溶液。反应室在溶液中包括阴离子选择电极,以监测在金属-铵络合物形成,金属-硫脲络合物形成,金属硫化物组合物形成,金属硫化物层形成或其组合过程中测量金属离子的金属离子。

著录项

  • 公开/公告号US2012058596A1

    专利类型

  • 公开/公告日2012-03-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 DAVID ZUBIA;RAFAEL ORDONEZ;

    申请/专利号US201113222710

  • 发明设计人 DAVID ZUBIA;RAFAEL ORDONEZ;

    申请日2011-08-31

  • 分类号H01L31/18;B05C11/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 17:29:13

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