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机译:纳米机械和电化学方法对表面进行无掩模图案化和修饰的方法
公开/公告号IT1395438B1
专利类型
公开/公告日2012-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 ROVENTI;FABRIZI;ZHANG;CECCHINI;
申请/专利号IT2009AN00029
发明设计人 ZHANG WEI;CECCHINI RAIMONDO;ROVENTI GABRIELLA;FABRIZI ALBERTO;
申请日2009-06-10
分类号H01L21/288;
国家 IT
入库时间 2022-08-21 17:22:11
机译: 纳米机械和电化学方法对表面进行无掩模图案化和修饰的方法
机译: 电化学电容器用碳电极及其表面修饰的纳米尺寸构图方法
机译: 用于电化学制造多层结构的方法,该多层结构包括结合了所选材料的无掩模,有图案的多层厚度沉积物的区域