公开/公告号WO2011139775A3
专利类型
公开/公告日2012-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;KAO CHIEN-TEH;LAM HYMAN W.H.;CHANG MEI;OR DAVID T.;DENNY NICHOLAS R.;YUAN XIAOXIONG (JOHN);
申请/专利号WO2011US34147
申请日2011-04-27
分类号H01L21/205;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:19:03