公开/公告号WO2011149770A2
专利类型
公开/公告日2011-12-01
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;NGUYEN VICTOR;CHEN YI;BALSEANU MIHAELA;ROFLOX ISABELITA;XIA LI-QUN;WITTY DEREK R.;
申请/专利号WO2011US37295
申请日2011-05-20
分类号H01L21/027;H01L21/205;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:18:48