公开/公告号WO2012006806A1
专利类型
公开/公告日2012-01-19
原文格式PDF
申请/专利权人 SHANGHAI INSTITUTE OF MICROSYSTEM AND INFORMATION TECHNOLOGY CHINESE ACADEMY OF SCIENCES;CHEN JING;WU QINGQING;LUO JIEXIN;HUANG XIAOLU;WANG XI;
申请/专利号WO2010CN76703
申请日2010-09-08
分类号H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:18:17