公开/公告号EP2053640A3
专利类型
公开/公告日2012-10-24
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申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号EP20080167333
发明设计人 YUAN ZHENG;NEMANI SRINIVAS D.;YIEH ELLIE Y.;WANG LINLIN;MUNRO JEFFREY C.;LUBOMIRSKY DIMITRY;MALLICK ABHIJIT BASU;ZHENG YI;
申请日2008-10-22
分类号H01L21/316;C23C16/40;H01L21/02;C23C16/04;C23C16/24;C23C16/56;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 17:16:44