公开/公告号WO2012111575A1
专利类型
公开/公告日2012-08-23
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL COMPANY LTD.;MACHII YOICHI;YOSHIDA MASATO;NOJIRI TAKESHI;OKANIWA KAORU;IWAMURO MITSUNORI;ADACHI SHUICHIRO;SATO TETSUYA;KIZAWA KEIKO;
申请/专利号WO2012JP53182
发明设计人 MACHII YOICHI;YOSHIDA MASATO;NOJIRI TAKESHI;OKANIWA KAORU;IWAMURO MITSUNORI;ADACHI SHUICHIRO;SATO TETSUYA;KIZAWA KEIKO;
申请日2012-02-10
分类号H01L21/225;H01L31/04;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:14:09