公开/公告号JP2013074292A
专利类型
公开/公告日2013-04-22
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS BV;
申请/专利号JP20120206219
发明设计人 VAN SCHOOT JAN BERNARD PLECHELMUS;VAN GREEVENBROEK HENDRIKUS ROBERTUS MARIE;IVANOV VLADIMIR VITALEVITCH;YAKUNIN ANDREY MIKHAILOVICH;HERMANUS JOHANNES MARIA KREUWEL;
申请日2012-09-19
分类号H01L21/027;G03F7/20;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:59:13