公开/公告号US9983489B2
专利类型
公开/公告日2018-05-29
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US201515311548
发明设计人 CHRISTIANUS WILHELMUS JOHANNES BERENDSEN;MARCEL BECKERS;HENRICUS JOZEF CASTELIJNS;HUBERTUS ANTONIUS GERAETS;ADRIANUS HENDRIK KOEVOETS;LEON MARTIN LEVASIER;PETER SCHAAP;BOB STREEFKERK;SIEGFRIED ALEXANDER TROMP;
申请日2015-04-24
分类号G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:57:00