公开/公告号JP2013512104A
专利类型
公开/公告日2013-04-11
原文格式PDF
申请/专利权人 エイアールケイ カンパニー リミテッド;
申请/专利号JP20120541941
发明设计人 ムン、スン ア;
申请日2010-11-30
分类号B01D53/62;C02F1/50;C02F1/78;C02F11/06;B01D53/52;B01D53/77;B01J20/18;B01J20/20;C02F11/04;H01L21/304;C01B13/10;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:56:58