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Leader member, substrate, substrate cartridge, substrate processing apparatus, reader connection method, display element manufacturing method, and display element manufacturing apparatus

机译:引导构件,基板,基板盒,基板处理装置,读取器连接方法,显示元件制造方法和显示元件制造装置

摘要

The reader member includes a connection portion connected to the substrate and at least a position reference portion used for alignment between the substrate and the connection portion.
机译:读取器构件包括连接到基板的连接部分和至少用于在基板和连接部分之间对准的位置参考部分。

著录项

  • 公开/公告号JPWO2011062213A1

    专利类型

  • 公开/公告日2013-04-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社ニコン;

    申请/专利号JP20110541944

  • 发明设计人 浜田 智秀;木内 徹;

    申请日2010-11-18

  • 分类号H05B33/10;H05B33/02;H01L51/50;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 16:53:34

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