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Purity silicon measuring instrument, silicon sorting device, and silicon purity measurement method

机译:纯度硅测定仪,硅分选装置及硅纯度测定方法

摘要

Purity silicon instrument of preventing metal contamination of silicon, can be measured within the purity silicon, silicon sorting device, and a silicon purity measurement method. The magnetic field generator 14 for generating a measured magnetic field flux so as to transmit the inspection table, inside of silicon was placed on the test bench, a silicon purity measurement device 10, a magnetic field after the interruption of the coil magnetic field it is configured to identify the purity of the silicon inside the degree of attenuation and a determining section 36 of the attenuation degree, the determination unit 36 ​​has determined.
机译:防止硅金属污染的纯度硅仪器,可以在纯度硅内测量,硅分选装置和硅纯度测量方法。磁场产生器14,用于产生测量出的磁场通量以通过检查台,将硅内部放置在测试台上,硅纯度测量装置10,在线圈磁场中断后的磁场是配置为确定衰减程度内的硅的纯度以及衰减程度的确定部分36,确定单元36已确定。

著录项

  • 公开/公告号JPWO2011045829A1

    专利类型

  • 公开/公告日2013-03-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 東洋ガラス株式会社;

    申请/专利号JP20100508544

  • 发明设计人 成川 利明;滝澤 務;

    申请日2009-10-13

  • 分类号G01N27/72;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 16:53:11

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