Bir dört dilimli fotodedektör yapısı ve fabrikasyon yöntemi.

摘要

Bu buluşta yem geliştirilmiş bir p - tipi kontak (6) malzemesi içeren p-i-n yapısında bulunan bir dört dilimli fotodedektör (100) eklem yapısı ve söz konusu fotodedektör (100) fabrikasyon yöntem adımları anlatılmaktadır. Bu buluşta anlatılan fotodedektör (100) her türlü geometrik şekilde olup, tercihen dairesel şekilde olmaktadır. Buluşun tercih edilen uygulamasında bir tam dairenin her bir çeyrek parçası bir dilim (13, 14, 15, 16) adlandırılmakta olup söz konusu dört dilimli fotodedektörün (100) eklem yapısı bir silisyum alttaş (1), söz konusu alttaşın arka yüzeyinde (12) bir n - fipi katkılı tabaka (2), söz konusu alttaşın ön yüzeyinde (11) bır p - fipi katkılı tabaka (3), söz konusu alttaşın ön yüzeyinde (11) en az iki katmanlı ve her bir katmanı iki ayrı ince tabakası (41, 42) içeren bir yansıtıcı tabaka (4), bir yansıtmasız tabaka (5), söz konusu alttaşın ön yüzeyinde (11) bir p - fipi kontak (6) ve söz konusu alttaşın arka yüzeyinde (12) bir n - fipi kontak (7) olmak üzere temel olarak yedi tabaka içermektedir.Bu buluşta söz konusu dört dilimli fotodedektörün (100) fabrikasyon yöntem adımları da anlatılmakta olup, elde edilen fotodedektör (100) pozisyon duyarlı olmaktadır.