公开/公告号WO2013129746A1
专利类型
公开/公告日2013-09-06
原文格式PDF
申请/专利权人 CHUNG-ANG UNIVERSITY INDUSTRY-ACADEMY COOPERATION FOUNDATION;SHIM IL WUN;PARK JONG PIL;SONG MI YEON;JUNG WON MOK;
申请/专利号WO2012KR06823
申请日2012-08-27
分类号C07F7/22;H01L31/042;C23C16/18;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 16:31:01