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Improvement of Interfacial Adhesion Strength of Flexible Substrates and Selective Growth Method of Aligned ZnO Nanopilar Arrays on Them

机译:柔性基板界面粘合强度的提高及其上对准的ZnO纳米柱阵列的选择性生长方法

摘要

The invention interfacial bonding failure problem occurs because the lattice mismatch between the nanostructures formed on a flexible substrate and the by controlling the surface roughness of the flexible substrate by a plasma treatment in order to address a flexible substrate, a zinc oxide catalyst at a low temperature of less than 100 solution process on the flexible substrate using a technique of improving the interfacial bonding characteristics between ( a seed layer ) relates to a zinc oxide nano- pillar array (array) in a method of selectively growing aligned without . ;
机译:发生本发明的界面结合失败问题是因为在柔性基板上形成的纳米结构之间的晶格失配和通过等离子体处理控制柔性基板的表面粗糙度以解决柔性基板,低温氧化锌催化剂之间的晶格失配。利用改善(种子层)之间的界面结合特性的技术在挠性基板上进行少于100次固溶处理的方法涉及一种在不生长的情况下选择性生长取向的方法中的氧化锌纳米柱阵列(阵列)。 ;

著录项

  • 公开/公告号KR101210515B1

    专利类型

  • 公开/公告日2012-12-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20110043092

  • 发明设计人 최한석;박용규;한윤봉;

    申请日2011-05-06

  • 分类号H01L21/20;B82B3/00;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 16:28:03

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