公开/公告号DE102011089759A1
专利类型
公开/公告日2013-06-27
原文格式PDF
申请/专利号DE20111089759
发明设计人 JANZ STEFAN DR.;GOLDSCHMIDT JAN-CHRISTOPH;LOEPER PHILIPP;MUELLER RALPH;HERMLE MARTIN;GLUNZ STEFAN;
申请日2011-12-23
分类号H01L21/20;H01L21/60;B82B1/00;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 16:22:15