要解决的问题:提供一种用于铁电薄膜形成的组合物,该组合物可以通过简单的方法比传统的铁电薄膜改善相对介电常数大得多,并且适用于具有高容量密度的薄膜电容器,铁电薄膜形成的方法,以及通过该方法形成的铁电薄膜。
解决方案:用于形成铁电薄膜的组合物用于形成选自PLZT,PZT和PT的一种材料的铁电薄膜。铁电薄膜形成用组合物是用于形成由通式(Pb
公开/公告号JP5526591B2
专利类型
公开/公告日2014-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱マテリアル株式会社;
申请/专利号JP20090102815
申请日2009-04-21
分类号H01L21/8246;H01L27/105;H01L41/187;H01L41/318;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:16:01