Preparation and Characterization of Nano-Particles PZT Ferroelectric Thin Films by RF-Magnetron Sputtering

摘要

Pt/Ti 底部电极被 magnetrondual-facing-target 劈啪作响系统在 SiO_2/Si 底层上制作。铅锆酸盐泰坦吃了(PZT ) 薄电影是由无线电的扔的 onPt/Ti/ SiO_2/Si 底层频率(RF ) 磁控管劈啪作响系统。为 5 h 被扔的 PZTthin 电影的厚度是大约 800 nm。PZT 薄电影在 700 deg C 为 20 min 在 Ar 环境和 rapid-thermal-annealed 扔了的 XRD 系列表演有好结晶化行为和 perovskite 结构。雏晶的吝啬的直径是 70 nm 和表面的 AFM 显微图表演 PZT 薄电影组织一致、稠密。未加工的平均数，根平均数平方粗糙和 PZT 薄电影的吝啬的粗糙是 34.357 nm， 2.479 nm 并且 1.954 nmrespectively。因为测试频率是 1 kHz， PZT 薄电影经常的电介质是 327.6。Electrichysteresis 循环显示出那强制的地力量，剩余极化力量和 PZT 薄电影的自发的极化力量分别地是 50 kV/cm， 10 muC/cm^2 和 13 muC/cm^2。