公开/公告号JP5579797B2
专利类型
公开/公告日2014-08-27
原文格式PDF
申请/专利权人 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション;
申请/专利号JP20120163637
申请日2012-07-24
分类号H01L29/78;H01L21/336;H01L27/08;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/786;H01L29/41;H01L29/49;H01L29/423;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:13:45