解决方案:用于去除包含选自β-二酮,β-酮酸酯,多元醇,羧酸,链烷醇胺,α-羟基羧酸,α-羟基羰基化合物中的一种或两种类型的有机溶剂的CSD涂膜的组合物。注入或滴加衍生物,衍生物和水,以去除CSD涂膜的外周端。
版权:(C)2011,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP5434631B2
专利类型
公开/公告日2014-03-05
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱マテリアル株式会社;
申请/专利号JP20100016071
申请日2010-01-27
分类号H01L21/316;H01L21/306;C01B13/32;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:11:00