公开/公告号CN102473625B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱综合材料株式会社;
申请/专利号CN201080029671.0
申请日2010-04-21
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人庞立志
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:39:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-11
授权
授权
2012-07-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/306 申请日:20100421
实质审查的生效
2012-05-23
公开
公开
机译: CSD涂布膜去除的成分,CSD涂布膜去除方式,铁电薄膜和涂布前的涂布膜
机译: 用于去除CSD涂层膜的组合物,使用相同的去除CSD涂层膜的方法,铁电薄膜以及制造相同的方法
机译: 用于去除由CSD形成的涂层膜的流体,用于相同方法去除CSD涂层膜的方法以及铁电薄膜及其制造方法