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SILICON PHOTOMULTIPLIER AND METHOD OF MANUFACTURING SILICON PHOTOMULTIPLIER

机译:硅光电倍增器和制造硅光电倍增器的方法

摘要

Provided is a structure of a silicon photomultiplier including an insulating layer to isolate pixels in the silicon photomultiplier and a quench resistor formed on the insulating layer to maximize the size of a light-receiving area, and a method of manufacturing the silicon photomultiplier.
机译:提供了一种硅光电倍增管的结构以及一种制造该硅光电倍增管的结构,该硅光电倍增管包括用于隔离硅光电倍增管中的像素的绝缘层和形成在该绝缘层上以最大化光接收区域的尺寸的淬灭电阻器。

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