公开/公告号RU2530468C1
专利类型
公开/公告日2014-10-10
原文格式PDF
申请/专利号RU20130122668
发明设计人 ABASHIN ALEKSANDR EVGENEVICH;KORNEEV ALEKSANDR ALEKSANDROVICH;CHULKOVA GALINA MERKUREVNA;LESNOV ILJA VIKTOROVICH;
申请日2013-05-17
分类号G01J1/42;H01L39/16;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 15:38:17