机译:制造方法例如伸长率测量设备中使用的薄层传感器,通过在基板和工作结构之间施加电压来对绝缘层的缺陷进行退火,从而去除工作结构中的缺陷
公开/公告号DE102012020149A1
专利类型
公开/公告日2014-02-13
原文格式PDF
申请/专利权人 BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND ENDVERTRETEN DURCH DIE PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT (PTB);
申请/专利号DE20121020149
申请日2012-10-15
分类号H01L21/326;G01R31/26;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 15:37:56