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Device for deposition under vacuum for cells a valve comprising a device for detection of leaks and method of detection of a leak in a device for deposition under vacuum.

机译:用于细胞的真空沉积的装置包括用于检测泄漏的装置的阀和用于真空沉积的装置中的检测泄漏的方法。

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号FR2988403B1

    专利类型

  • 公开/公告日2014-05-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 RIBER;

    申请/专利号FR20120052499

  • 发明设计人 OLIVIER GRANGE;

    申请日2012-03-20

  • 分类号C23C14/24;C23C14/54;

  • 国家 FR

  • 入库时间 2022-08-21 15:36:41

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