公开/公告号JP5797230B2
专利类型
公开/公告日2015-10-21
原文格式PDF
申请/专利权人 インテグリス・インコーポレーテッド;
申请/专利号JP20130125830
发明设计人 ヴァン バスカーク;ピーター;シー.;ローダー;ジェフリー;エフ.;ビロデュー;スティーブン;エム.;ラッセル;マイケル;ダブリュ.;ジョンストン;スティーブン;ティー.;ベスティック;ダニエル;ジェイ.;バーム;トーマス;エイチ.;
申请日2013-06-14
分类号C23C16/40;H01L21/8246;H01L27/105;H01B3/12;H01G4/33;H01G4/12;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 15:31:42