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Method and system for recycling processing gas for selenization of thin film photovoltaic materials

机译:回收用于薄膜光伏材料硒化的处理气体的方法和系统

摘要

A system for recycling a work gas used in a thermal reactor for treating sample materials includes a thermal reactor using a work gas from a first source mixed with carrier gases. The work gas has a boiling point higher than the carrier gases. The system includes a pump, a condenser which converts the work gas into a liquid, and a scrubber.
机译:一种用于热反应器中用于处理样品材料的工作气体的再循环系统,包括使用来自第一源的工作气体与载气混合的热反应器。工作气体的沸点高于载气的沸点。该系统包括泵,将工作气体转化为液体的冷凝器和洗涤器。

著录项

  • 公开/公告号US9084969B1

    专利类型

  • 公开/公告日2015-07-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 STION CORPORATION;

    申请/专利号US201414282925

  • 发明设计人 ROBERT D. WIETING;

    申请日2014-05-20

  • 分类号B01D5;B01D53/96;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 15:20:27

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