公开/公告号US8946062B2
专利类型
公开/公告日2015-02-03
原文格式PDF
申请/专利权人 GUARDIAN INDUSTRIES CORP.;
申请/专利号US201213682786
申请日2012-11-21
分类号H01L21/02;H01L29/04;C23C16/02;C30B25/18;C30B29/06;H01L31/0368;H01L31/18;C23C16/24;C23C16/44;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:17:17