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机译：基于石墨烯和碳纳米管晶体管的集成的多层互连优先集成方案
公开/公告号GB2503173B
专利类型
公开/公告日2015-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;
申请/专利号GB20130017258
发明设计人 GHAVAM G SHAHIDI;ZIHONG LIU;
申请日2012-02-25
分类号H01L21/8234;H01L21/84;H01L23/528;H01L27/088;H01L27/12;H01L29/786;
国家 GB
入库时间 2022-08-21 14:53:41
机译： 基于石墨烯和碳纳米管晶体管的多层互连第一集成方案
机译： 基于石墨烯和碳纳米管晶体管的集成的多层互连优先集成方案
