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The method of reducing metal content of the device layer of the Soi structure, and soi structure produced by such a method

机译:降低Soi结构的器件层中金属含量的方法以及通过这种方法生产的soi结构

摘要

Method for producing a silicon-on-insulator structure having a metal content reduced in the device layer is disclosed. It is also disclosed silicon-on-insulator structure having a metal content reduced.
机译:公开了一种用于制造在器件层中具有减少的金属含量的绝缘体上硅结构的方法。还公开了具有减少的金属含量的绝缘体上硅结构。

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