公开/公告号US2016049323A1
专利类型
公开/公告日2016-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201514824229
发明设计人 ZHENG JOHN YE;JAY D. PINSON II;HIROJI HANAWA;JIANHUA ZHOU;XING LIN;REN-GUAN DUAN;KWANGDUK DOUGLAS LEE;BOK HOEN KIM;SWAYAMBHU P. BEHERA;SUNGWON HA;GANESH BALASUBRAMANIAN;JUAN CARLOS ROCHA- ALVAREZ;PRASHANT KUMAR KULSHRESHTHA;JASON K. FOSTER;MUKUND SRINIVASAN;UWE P. HALLER;HARI K. PONNEKANTI;
申请日2015-08-12
分类号H01L21/683;H02N13;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:36:29