公开/公告号WO2016025573A1
专利类型
公开/公告日2016-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号WO2015US44810
发明设计人 YE ZHENG JOHN;HA SUNGWON;BALASUBRAMANIAN GANESH;ROCHA-ALVAREZ JUAN CARLOS;KULSHRESHTHA PRASHANT KUMAR;FOSTER JASON K.;SRINIVASAN MUKUND;HALLER UWE P.;PONNEKANTI HARI K.;PINSON JAY D. II;HANAWA HIROJI;ZHOU JIANHUA;LIN XING;DUAN REN-GUAN;LEE KWANGDUK DOUGLAS;KIM BOK HOEN;BEHERA SWAYAMBHU P.;
申请日2015-08-12
分类号H01L21/683;H01L21/205;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 14:18:51