公开/公告号US9218944B2
专利类型
公开/公告日2015-12-22
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申请/专利权人 MADHAVI R. CHANDRACHOOD;MICHAEL N. GRIMBERGEN;KHIEM K. NGUYEN;RICHARD LEWINGTON;IBRAHIM M. IBRAHIM;SHEEBA J. PANAYIL;AJAY KUMAR;
申请/专利号US20060589598
发明设计人 RICHARD LEWINGTON;MICHAEL N. GRIMBERGEN;KHIEM K. NGUYEN;IBRAHIM M. IBRAHIM;SHEEBA J. PANAYIL;MADHAVI R. CHANDRACHOOD;AJAY KUMAR;
申请日2006-10-30
分类号H01J37/32;H01L21/67;H01L21/68;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/52;H01L21/687;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:29:25