University of Michigan.;
机译:使用时间和空间分辨光发射光谱研究EDM等离子体的研究
机译:空间分辨光发射光谱法研究大气中纳秒激光产生的等离子体
机译:圆柱电感耦合等离子体中E和H模式的空间分辨光发射光谱研究
机译:使用时间和空间分辨光发射光谱研究EDM等离子体的研究
机译:在使用Langmuir探针和光发射光谱法的深反应离子刻蚀系统中,等离子体表征和刻蚀速率以及通孔侧壁角度相关。
机译:氩气中射频辉光放电的绝对时空分辨光发射测量
机译:使用光发射光谱法测定等离子体蚀刻建模的定量分析:等离子体蚀刻响应预测
机译:通过光学发射光谱,质谱和光度测定法表征He / CH(sub 4)DC辉光放电等离子体。