公开/公告号US9330926B2
专利类型
公开/公告日2016-05-03
原文格式PDF
申请/专利权人 ROBERT CHEBI;FRANK LIN;JAROSLAW W. WINNICZEK;WAN-LIN CHEN;ERIN MCDONNELL;LILY ZHENG;STEPHAN LASSIG;JEFF BOGART;CAMELIA RUSU;
申请/专利号US20080338950
发明设计人 WAN-LIN CHEN;FRANK LIN;JAROSLAW W. WINNICZEK;ERIN MCDONNELL;CAMELIA RUSU;LILY ZHENG;STEPHAN LASSIG;ROBERT CHEBI;JEFF BOGART;
申请日2008-12-18
分类号H01L21/302;H01L21/461;B44C1/22;C03C15/00;C03C25/68;C23F1/00;H01L21/3065;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/311;H01L21/3213;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:29:15