公开/公告号US9224605B2
专利类型
公开/公告日2015-12-29
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201414267154
申请日2014-05-01
分类号H01L21/336;H01L21/265;H01L29/66;H01L29/165;H01L29/167;H01L21/306;H01L21/02;H01L21/324;H01L29/78;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:28:27