公开/公告号US9209329B2
专利类型
公开/公告日2015-12-08
原文格式PDF
申请/专利号US201313923687
发明设计人 MASAHIRO TESHIMA;RAZMIK MIRZOYAN;BORIS ANATOLIEVICH DOLGOSHEIN;PAVEL ZHORZHEVICH BUZHAN;ALEXEY ANATOLIEVICH STIFUTKIN;
申请日2013-06-21
分类号G01T1/20;H01L31/0232;H01L27/144;H01L31/107;H01L31/18;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:27:39