公开/公告号PH12015502206A1
专利类型
公开/公告日2016-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号PH2006120155022
发明设计人 TRUYENS CARL;VANGILBERGEN BERT;DE BLOCK ERIK;LEUNG KC;VERMEULEN JIMMY;ACCOU BRUNO;VAN GILS KAREL;CHEUNG KW;
申请日2015-09-22
分类号B65G47/90;B25J5/02;B25J9/02;
国家 PH
入库时间 2022-08-21 14:22:53