公开/公告号US9776334B2
专利类型
公开/公告日2017-10-03
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201414243632
发明设计人 ERIK DE BLOCK;BERT VANGILBERGEN;KW CHEUNG;BRUNO ACCOU;KC LEUNG;JIMMY VERMEULEN;CARL TRUYENS;KAREL VAN GILS;
申请日2014-04-02
分类号B25J15/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:45:12