首页> 外国专利> ANTENNA FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION APPARATUS AND METHOD OF CONTROL THEREOF AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION APPARATUS COMPRISING THE SAME

ANTENNA FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION APPARATUS AND METHOD OF CONTROL THEREOF AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION APPARATUS COMPRISING THE SAME

机译:感应耦合等离子体产生装置的天线及其控制方法和包括该天线的感应耦合等离子体产生装置

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号KR20160129300A

    专利类型

  • 公开/公告日2016-11-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SK HYNIX INC.;

    申请/专利号KR20150061187

  • 发明设计人 KIM JIN HONG;

    申请日2015-04-30

  • 分类号H01J37/32;H05H1/46;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 14:13:12

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