公开/公告号EP3152622A1
专利类型
公开/公告日2017-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号EP20150720652
发明设计人 BERENDSEN CHRISTIANUS WILHELMUS JOHANNES;BECKERS MARCEL;CASTELIJNS HENRICUS JOZEF;GERAETS HUBERTUS ANTONIUS;KOEVOETS ADRIANUS HENDRIK;LEVASIER LEON MARTIN;SCHAAP PETER;STREEFKERK BOB;TROMP SIEGFRIED ALEXANDER;
申请日2015-04-24
分类号G03F7/20;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 14:05:02