机译:形状仿真设备,形状仿真方法和形状仿真程序
公开/公告号JP2017163035A
专利类型
公开/公告日2017-09-14
原文格式PDF
申请/专利权人 TOSHIBA MEMORY CORP;
申请/专利号JP20160047310
发明设计人 ICHIKAWA HISASHI;
申请日2016-03-10
分类号H01L21;H01L21/3065;G03F7/20;G03F1/36;H01L21/205;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 14:01:53