公开/公告号JP6073943B2
专利类型
公开/公告日2017-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 ウルトラテック インク;
申请/专利号JP20150032839
发明设计人 ジェフリー・ピー・ガンビーノ;ポール・フォティア;ウォルフガング・ソーター;ティモシー・ドーリング・サリバン;クリストファー・デービッド・マジー;ティモシー・ハリソン・ドーバンスペック;デービッド・エル・クエスタッド;
申请日2015-02-23
分类号H01L21/60;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 13:54:12